中空型式精確定位工作臺(tái)直動(dòng)滑臺(tái)
中空型式精確定位工作臺(tái)直動(dòng)滑臺(tái)
壓電滑臺(tái)基本系列_中空型式壓電滑臺(tái)中間開(kāi)口的產(chǎn)品系列,適用于正/背檢、雷射穿透,結(jié)合顯微鏡及分析設(shè)備或儀器進(jìn)行細(xì)微觀察、高精度測(cè)繪測(cè)量等。
從多軸薄型到大開(kāi)口型提供適用于小型設(shè)備的多軸輕薄類(lèi)型,和適合大尺寸面板的大開(kāi)口類(lèi)型。
進(jìn)行平滑且精確的掃描透過(guò)高精度的回授控制,可根據(jù)指令訊號(hào)實(shí)現(xiàn)高可靠性的操作。
產(chǎn)品有2種機(jī)構(gòu)類(lèi)型:分為共振頻率高、強(qiáng)調(diào)高速響應(yīng)的「直接驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)」和較長(zhǎng)行程的「位移放大機(jī)構(gòu)」。
直接驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)
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壓電滑臺(tái)基本系列_中空型式壓電滑臺(tái)中間開(kāi)口的產(chǎn)品系列,適用于正/背檢、雷射穿透,結(jié)合顯微鏡及分析設(shè)備或儀器進(jìn)行細(xì)微觀察、高精度測(cè)繪測(cè)量等。
從多軸薄型到大開(kāi)口型提供適用于小型設(shè)備的多軸輕薄類(lèi)型,和適合大尺寸面板的大開(kāi)口類(lèi)型。
進(jìn)行平滑且精確的掃描透過(guò)高精度的回授控制,可根據(jù)指令訊號(hào)實(shí)現(xiàn)高可靠性的操作。
產(chǎn)品有2種機(jī)構(gòu)類(lèi)型:分為共振頻率高、強(qiáng)調(diào)高速響應(yīng)的「直接驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)」和較長(zhǎng)行程的「位移放大機(jī)構(gòu)」。
直接驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)
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